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清华大学快速退火炉验收发表时间:2019-05-08 14:40 清华大学采购的德国尤尼坦RTP-100真空快速退火炉本周完成了安装和验收,正式投入清华大学科研实验工作。 RTP-100是德国Unitemp的主要型号之一,支持4英寸的样品尺寸,150度/秒的升温速度,1200度工艺温度,可最多通入四路工艺气体(MFC控制);RTP-100采用西门子人机界面/触摸自动控制,易于使用,适合研发使用。
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