变温真空探针台

产地：韩国

型号：ETCP-2000

1) 载物盘

• 载物盘尺寸 : 100mm(4inch)

• Stage X, Y travel range : ±25mm, External knob

• 温度控制: RT ~ 573K(300dC)

2) 探针臂

• 分辨率 : 12um ± 2um

• X, Y, Z travel range : ±4mm, ±12.5mm, ±4mm

• Coaxial cable with BNC connectors.

3) 真空腔体

• 真空度 : 3 x 10-3 torr

• 尺寸: 320mm diameter x 230mm

4) Microscope

• 1. 0.63~5X zoom microscope

• FOV 20.5mm~2.5mm

• 2. 0.5X adapter

• 3. working distance : 95mm ~ 130mm

• 4. illuminator : 60 LED Ring Light Illuminator

参考用户：

浙江大学、武汉理工大学、中科院苏州纳米所、中科院上海技术物理研究所等.