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广东工业大学ECOPIA镀膜机通过验收
广东工业大学采购的ECOPIA进口品牌的磁控溅射镀膜机,电子束蒸发镀膜机本周通过了学校组织的验收,正式投入科研使用。
- SE-400磁控溅射镀膜设备主要用于金属薄膜的沉积(Cr, Au, Cu, Ti等),配备了4套靶枪,可以共溅射或多层膜顺序溅射。

- EB-400S电子束蒸发镀膜机主要用于介电薄膜的沉积,配备了6袋电子束蒸发源,及晶振膜厚监控模块。