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西北工大采购的Ecopia磁控溅射镀膜系统完成验收

韩国Ecopia品牌的磁控溅射镀膜机即日在陕西西安西北工业大学完成了安装、培训和验收。这台PVD镀膜机,主要用于MEMS的研究工作,设备可以沉积金属(Au, Ti, Cu, Ag等 )和介电薄膜,且沉积薄膜的均匀性和致密性均达到进口设备的水准。