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美国埃米原子层沉积设备在天津工大完成安装调试
发表时间:2018-05-24 00:00

天津工大材料学院采购的美国埃米Angstrom-Dep III等离子增强原子层沉积系统(PEALD)本周已经完成了安装和调试,仪器一切正常,所有技术指标均达到合同要求,目前处于试运行状态,预计12月初可以完成学校的验收!


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