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西安交大RTP-1200迷你快速退火炉安装
发表时间:2018-05-24 00:00
西安交大电信学院上半年采购的迷你快速退火炉RTP-1200日前到货,目前完成了仪器的安装调试,正式投入使用。
RTP-1200最大可以放入20mmX20mm尺寸的样品,支持惰性气体保护,以及在真空环境下的薄膜退火。该快速退火炉还可以通入包括H2/N2混合气在内的各种工艺气体,进行不同的薄膜热处理工艺。

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