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PEALD原子层沉积设备安装验收
发表时间:2018-08-31 11:24

南方科技大学徐斌老师购买的Angstrom III双腔室原子层沉积系统,近日完成了仪器安装和用户培训。这台原子层沉积设备除了做常规的薄膜沉积外,还可以做粉末材料的包覆。该ALD各项指标达到了合同要求,预计9月份可以完成验收。

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