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英国牛津电子束蒸发镀膜机验收

发表时间:2019-05-17 14:37
兰州理工大学采购的英国牛津公司的VS4电子束蒸发镀膜机本周完成了安装调试及客户培训,预计本月完成设备验收。
这台VapourStation4电子束蒸发镀膜机同时选配了2套电阻式热蒸发舟及电源,可以同时进行电子束蒸发+电阻式热蒸发共蒸镀沉积;VS4也支持沉积多层薄膜;非常适合科研使用。
VS4紧凑式真空腔及迷你坩埚/蒸发舟,极大减少了蒸发源的浪费,非常适合贵金属的蒸镀。

兰州理工VS4.jpg

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