上海载德半导体技术有限公司

 English 中文

新闻中心

News Center

导航

Navigation

河南大学PEALD验收

发表时间:2019-10-14 11:09

河南大学购买的Angstrom III双腔室原子层沉积系统,配置8路源。近日完成了仪器安装和用户培训。这台原子层沉积设备除了做常规的薄膜沉积外,还可以做粉末材料的包覆。该ALD各项指标达到了合同要求,目前已经完成设备验收。

分享到: