上海载德半导体技术有限公司

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产品详情

产地:美国

型号:SPS-2600,SPS-2800;


技术规格:

1. 支持最大晶圆尺寸:300mm

2. X-Y轴移动重复性:+/-1.5mm

3. X-Y轴移动分辨率:5 mm

4. X-Y轴移动速率:50mm/s

5. Z轴移动重复性:+/-1mm,移动分辨率:1mm

6. Z轴移动速率:10mm/s

7. 显微镜分辨率:4mm

8. 可测试温度:RT~200

9.软件全自动控制平台移动



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