热蒸发镀膜机

产地：英国、韩国；

型号：VS3,EasyDEP；

通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面，称为热蒸发镀膜，热蒸发镀膜技术是历史最悠久的PVD镀膜技术之一。热蒸发镀膜机一般主要用于蒸发Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。以下为蒸发镀膜设备的示意图。

技术规格特点：

- 基底尺寸：4英寸，6英寸，8英寸；

- 基底旋转：0~10rpm；

- 热蒸发源：4英寸或6英寸热蒸发舟，交流电源；

- 腔体：铝合金或不锈钢材料可供客户选择，不同尺寸的箱式腔室可选；

- 泵：机械泵，扩散泵或者分子泵，供客户选择；

- Load Lock样品传输腔室：手动或自动传输，高真空，支持多种样品衬底；

- 工艺控制：PC/PLC机制的自动控制，使用GUI进行工艺控制、数据处理、远程支持；

- 原位监控：石英晶振监测(QCM)，光学监测，残余气体分析，其他原位监测技术或控制；

- 衬底固定：单衬底固定，多衬底固定，行星式衬底固定，客户化衬底固定方式；

- 衬底夹具：加热，冷却，偏置，旋转等；

参考用户：

　　广东工业大学、清华大学等等...