二维材料生长系统(Graphene, h-BN, MoS2, CNT等)

产地：英国

型号：SmarTube 210, CompacTube110；

二维材料是伴随着2004年曼切斯特大学Geim小组成功分离出单原子层的石墨烯而提出的。石墨烯突出的特点是单原子层、高载流子迁移率、线性能谱、强度高。后续又有一些其他的二维材料陆续被广泛研究，如六方氮化硼(h-BN)、二硫化钼(MoS2)、二硫化硒(SeS2)、黑磷等。

有多种方法可以制备二维材料，其中热化学气相沉积法(TCVD)可以快速得到高品质、大面积的二维材料，且成本较低，目前广泛被采用。

技术规格特点：

1.   石英管及工艺炉 QUARTZ TUBE & FURNACE

-  石英管尺寸：ф100 * 1200mm (其他规格可选)；

-  炉体尺寸(WxHxD)：500mm x 500mmx 350mm；

-  加热器：Kanthal Wire w/ Glass Wool Molding；

-  工艺温度：1,100°C (其他高温模块可选)；

-  热电偶：K型，ID 6.5mm；

-  加热区域：1-zone, ф100*350mm(多区域加热可选)；

-  线性移动控制单元；

-  手动炉门；

2.   气路

-  标配工艺气路，质量流量计自动控制，三路(以石墨烯生长为例)

      a) 氢气(H2), 100sccm

     b)  烷(CH4), 200sccm

     c) 氩气(Ar): 1,000sccm

     d) 预留第四路工艺气路

-   0.25”不锈钢管路；

-   五套0.25”气动隔膜阀；

3.   真空及压力控制

-   对流真空规及控制器(Convection Gauge)；

-   10Torr电容压力计；

-   马达控制的节流阀；

-   压力计流量控制器；

-   旋叶泵(340L/M)；

4.   系统控制单元

-   内嵌计算机控制，Windows 7系统；

-   PLC控制模块，配备Labview软件界面；

-   19” LCD显示器；

5.   安全及冷却

-   法兰水冷设计；

-   蜂鸣器警报及系统错误显示；

-   安全内锁系统

6.   设备尺寸及实验室要求

-   占地尺寸：1.75m (W) x 1.60m (H) x 0.75m (D)；

-   重量：~200kg；

-   电源：220V, 50/60Hz, 3Φ, 4-wire, 30A；

-   压缩空气：4-5kgf/cm2, 0.25” tube；

-   冷却水：2-3kgf/cm2, 0.25” tube；

参考用户：

剑桥大学，牛津大学，曼彻斯特大学，莱斯大学，斯坦福大学，新加坡国立大学，日本东京技术研究所，东京大学，韩国东国大学等...